掩模电镀相关论文
本文主要阐述应用微细加工技术研究和开发φ１ｍｍ电磁型微电机定子绕组的制备工艺。采用高－高比光刻技术和掩模电镀工艺，解决了高－高宽比线......
在给定的电镀液组分下,对掩模电镀微结构的厚度均匀性及镀层横截面轮廓进行了研究,讨论了影响微结构镀层厚度均匀性的主要因素,分......
以微波混合电路常用的TiW-Au膜系作种子层,以光刻胶作掩模电镀金镀层。利用台阶仪测试了整个样品不同位置及同一位置附近区域的镀......
