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掺硼金刚石(BDD)膜相关论文
高掺杂Si/BDD薄膜电极的制备及电化学性能
近年来,掺硼金刚石(BDD)膜因具备独特的优异性能而作为电极材料已经受到很大的关注。本文通过MPCVD法在高掺杂硅衬底上生长掺硼金......
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化学气相沉积
掺硼金刚石(BDD)膜
电化学性能
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