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掺碳二氧化硅相关论文
新型掺碳二氧化硅-薄膜体声波谐振器结构及其仿真验证
一定厚度的低声阻抗支撑层可以在薄膜体声波谐振器(FBAR)与衬底之间形成声学隔离层,防止声波泄漏到衬底当中。掺碳二氧化硅(CDO)是一种......
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声阻抗
掺碳二氧化硅
薄膜体声波谐振器
声学隔离层
acoustic impedance carbon doped oxide oxide-film bulk
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