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化学汽相沉积法制SnO2掺杂薄膜及其气敏特性的机理研究
文中探讨用汽相沉积法制备SnO2掺杂薄膜的不同工艺。研究SnO2掺杂薄膜的光谱透过率气敏特性,测试掺5%Ag的SnO2薄膜在不同比例乙醇气体气敏作用下表面......
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