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掺铒氮化镓薄膜相关论文
基于ECR等离子体辅助脉冲激光沉积的薄膜沉积和原位掺杂
本论文的主要内容是在激光和等离子体特性研究的基础上进行激光和等离子体的应用探索,摸索一种新的材料制备方法—基于电子回旋共振......
学位
电子回旋共振微波放电
等离子体
脉冲激光烧蚀
等离子体辅助沉积
类金刚石薄膜
氮化镓薄膜
掺铒氮化镓薄膜
原位掺杂
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