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整体曝光法相关论文
光源扩束质量对光纤光栅刻制的影响
为实现长光纤光栅的精确制作,围绕整体曝光法分析了光束平行度和截面光强分布对光栅刻制的影响,设计了一套光束扩束系统,使用Zemax......
期刊
光纤光栅
整体曝光法
扩束
截面光强分布
fiber gratingoverall exposure methodbeam expansioncross-sec
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