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飞秒脉冲激光沉积大面积类金刚石薄膜均匀性研究
类金刚石(Diamond-Like Carbon, DLC)薄膜具有一系列可与金刚石相媲美的优越性能:高硬度、低摩擦系数、宽带隙、良好的场发射性、......
学位
脉冲激光沉积
类金刚石薄膜
大面积
均匀性
旁轴模式
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