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软着陆闭管扩散炉几个关键控制单元的设计与应用
为了适应太阳能电池生产的新工艺需求,提出一种新型的软着陆闭管扩散炉系统,为扩散炉系统向智能型、精密型的方向发展进行有益的探......
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扩散炉
压力平衡控制
旋转炉门
软着陆
Diffusion furnace
Pressure balance control
Rotary door
So
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