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基于梯度电场调控的Hf0.5Zr0.5O2基FeFET的多值存储研究
铁电场效应晶体管(FeFET)是一种基于铁电材料自发极化特性的新型非易失性存储器,具有低功耗、非破坏性读出和读写速度快等优点。基于......
学位
铁电场效应晶体管
Hf0.5Zr0.5O2铁电薄膜
晶态high-k层
多值存储
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