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沉积氧压对RuVO2合金薄膜结构及MIT特性的影响研究
本工作采用脉冲激光沉积法,以c-Al2O3为衬底,金属钌(Ru)镶嵌金属钒(V)圆片作为靶材,高纯氧气为反应气体,在不同沉积氧压下制备出一......
期刊
RuVO2合金薄膜
金属-绝缘体相变
脉冲激光沉积法
智能窗涂层
RuVO2 alloy filmmetal-insulator phase transitio
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