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凹型Si微透镜阵列的制作
提出了一种新的曲率倒易法首次成功地在Si衬底上制作出64×256凹柱面折射微透镜阵列,扫描电子显微镜(SEM)显示微透镜阵列为表......
期刊
SI
凹微透镜阵列
氩离子束刻蚀
硅
制作
曲率倒易法
Si
concave microlenses array
Ar ion beam etching
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