该文叙述了在ＧＬＺ－１００Ｅ工业离子注入机上采用２０－６０ＫｅＶ氮离子及氮分子离子注入人造金刚石晶体的实验研究。ＸＰＳ分析表明注入离子在人造金刚石颗粒表面形成......