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束流放大器相关论文
采用外接恒流源对注入机进行剂量校准
本文作者采用KEITHLEY 220型可编程电流源对半导体生产中的关键工艺设备EATON NV6200A进行剂量校准,确保离子注入设备的精确计量.......
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束流放大器
BCA
DoseBeam currentGain rangeBeam current amplifier(BCA)
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