束线系统相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

束线系统相关论文

大角度离子注入机的束纯度控制

从大角度离子注入机束线系统设计上的改进出发,对加/减速模式和多电荷注入等情况下的束能量纯度控制进行了阐叙,同时依靠大量的实......

期刊

大角度离子注入机加/减速多电荷束线系统束能量纯度二次离子质谱分析仪(SIMS) Large tilt ion implanter Accel/dece

看过本文同时还关注