柔性MEMS相关论文
基于柔性材料的微型压力传感器对机器人手指的触觉建立是近年来的热门研究领域,在满足人类指尖触觉分辨率的前提下,如何进一步改善......
近些年来,随着柔性电子、无线通信、MEMS等技术的飞速发展,柔性可穿戴设备受到越来越广泛的关注,其中的柔性传感器作为柔性可穿戴......
针对铂等常用金属热敏材料电阻温度系数(TCR)不高,导致热式MEMS流速传感器宽量程测量时功耗高的问题,设计了一种基于非晶锗(a-Ge)......
该文从挂篮荷载计算、施工流程、支座及临时固结施工、挂篮安装及试验、合拢段施工、模板制作安装、钢筋安装、混凝土的浇筑及养生......
流速传感器已经被广泛应用到日常生活、工业制造、科学研究、航空航天以及军工生产等多个领域。广泛的应用场景使得对流速传感器的......
基于柔性电极结构,本文设计、制作了薄膜电容微压力传感器,在阐述传感器工作原理的基础上,提出了两种设计思路,即基于柔性纳米薄膜......
论述了一种可应用于机器人或医学修补技术的触觉传感器及其在旋涂的柔性聚酰亚胺衬底的新制作方法。该传感器是由多层无机和有机薄......
提出了一种电解水式驻留微气泡减阻的柔性微机电系统（MEMS）蒙皮技术，研究了蒙皮结构设计以及加工工艺。设计了一种包含柔性基底层、金......
针对MEMS流速传感器量程小及无法应用于曲面的不足,设计制造了一种柔性MEMS流速传感器,其结构主要包含加热电阻和3对测温热电阻,同......
作为MEMS传感器中重要的一种传感器,触觉传感器能够探测到周围环境中极其细小的变化,并且能够反映物体接触力的大小。现今,随着MEM......
