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栅氧清洗相关论文

集成电路湿法工艺与湿法设备制造技术研究

简述了集成电路制造中的湿法工艺，重点介绍了栅氧清洗、RCA清洗、去胶、氮化硅去除、氧化硅腐蚀等湿法工艺，并对槽式湿法设备的关键......

期刊

集成电路湿法工艺湿法设备栅氧清洗湿法去胶氮化硅腐蚀

O3在栅氧清洗工艺中的研究和应用

在集成电路的制造过程中,硅片的清洗对器件的良率、寿命及可靠性具有决定性作用。据统计,在集成电路的生产过程中,超过50%的产品报......

学位

栅氧清洗 O3 栅氧化层栅氧可靠性

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