栅网式能量分析仪相关论文
等离子体中离子能量的分布是离子束加工技术的关键参数之一.本文基于栅网式离子能量测试原理,采用离子光学模拟软件Simion7.0对栅......
随着工业技术的发展,离子源已广泛应用于微细加工的离子束刻蚀技术、材料表面改性的离子注入以及光学薄膜制备中的离子束辅助镀膜......
为了研究等离子体中离子能量的分布规律,基于栅网式离子能量测试原理,采用离子光学模拟软件Simion7.0,对四栅网离子能量分析仪中网......