标准平晶相关论文
以相移干涉法测出的点阵波面数据为基础,设计了计量用平面度测试软件Flat Ex,包括标准平晶的绝对检验、研磨面平尺的斜入射测量和......
对于平面度的计量,传统的方法是通过等倾干涉仪对标准平晶进行绝对检验,然后向长平晶、研磨面平尺传递;或通过等厚干涉仪向其他尺......
