检测电容结构相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

检测电容结构相关论文

不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析

改进传感器检测电容几何结构能有效改善传感器的性能。本文对梳齿电极结构、栅形电极结构及梳栅电极结构检测电容的性能特点进行分......

期刊

MEMS 微电容式惯性传感器检测电容结构 MEMS Micro capacitive inertial sensor Structure of detec

三维电容式微加速度传感器的设计与相关特性研究

MEMS电容式加速度传感器具有灵敏度高、温度系数小、功耗和成本低等优点,已经在汽车、工业、消费电子、石油探测、导航等领域得到......

学位

电容式加速度传感器检测电容结构闭环三维检测电路

看过本文同时还关注