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检测电容结构相关论文
不同检测电容结构对MEMS电容传感器性能的影响分析
改进传感器检测电容几何结构能有效改善传感器的性能。本文对梳齿电极结构、栅形电极结构及梳栅电极结构检测电容的性能特点进行分......
期刊
MEMS
微电容式惯性传感器
检测电容结构
MEMS
Micro capacitive inertial sensor
Structure of detec
三维电容式微加速度传感器的设计与相关特性研究
MEMS电容式加速度传感器具有灵敏度高、温度系数小、功耗和成本低等优点,已经在汽车、工业、消费电子、石油探测、导航等领域得到......
学位
电容式加速度传感器
检测电容结构
闭环
三维
检测电路
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