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椭偏光谱分析相关论文
氢等离子处理衬底上硼掺杂微晶硅薄膜的椭偏光谱分析
采用射频等离子体增强化学气相沉积方法制备了硼掺杂的系列硅薄膜。采用拉曼光谱表征了薄膜的晶化。随着氢等离子对衬底处理时间的......
会议
微晶硅薄膜
氢等离子体
表面粗糙度
椭偏光谱分析
光学特性
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