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槽深误差相关论文
90°顶角中阶梯光栅的制作与探索
中阶梯光栅具有超高分辨率的特点,在光谱仪、光通信等领域都有着广泛的应用。根据光栅理论,对阶梯光栅,90°顶角的三角形槽型是获......
学位
中阶梯光栅
湿法腐蚀
倾斜紫外光刻
槽深误差
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