模拟内环相关论文
介绍了纳米加工平台的工作原理,并对电磁力进行计算分析.根据力学方程建立了纳米加工平台的X-Y方向模拟内环模型和数字外环模型,并......
表面电机是通过对平台的无摩擦悬浮,实现高速高精度的目的,它是下一代制造业技术的核心。国外对它的研究已经开展了十多年,国内尚......