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激光触发能量对横向结构4H—SiC光导开关导通电阻的影响
采用钒掺杂半绝缘4H—SiC衬底,利用磁控溅射在硅衬底上制备了Ni/Au金属电极,并封装加工成同面型横向电极结构SiC光导开关,研究了不同激......
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光导开关
钒掺杂4H-SiC
横向电极结构
导通电阻
photoconductive semiconductor switches
vanadium comp
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