近些年来,由微电子技术（半导体制造技术）发展而来的微机电系统（MEMS,MicroElectro-Mechanical System）逐步成为了各国争相研究的热点,......

硅微机械陀螺仪作为一种用于测量旋转速度或旋转角的MEMS惯性传感器,凭借其体积小、重量轻、成本低、可批量生产以及易于实现数字......

随着微机电系统(MEMS)和测控技术的深入研究,硅微陀螺仪已成为近年来广泛研究的方向,因其优点众多而被特别关注,广泛应用于军民领......

硅微陀螺仪是一种新型的MEMS惯性传感器,与传统的陀螺仪相比具有体积小、重量轻、易于数字化、可批量生产、功耗低等优点,其在国民......