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正弦相位调制干涉术相关论文
法布里-珀罗板正弦相位调制型高精度角位移测量
提出了一种基于法布里珀罗板和正弦相位调制干涉术的角位移测量新方法。采用CCD探测法布里珀罗板两透射光束光斑的中心距 ,通过运......
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