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基于紫外光刻的滚动压印模具的研制
纳米压印技术是美国华裔科学家的Stephen Y. Chou教授于1995年提出的一种复制加工纳米尺度图案的技术。因其具有产品分辨率高,工艺......
学位
滚动压印模具
提拉法涂胶
步进式旋转曝光
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