气体辅助刻蚀相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

气体辅助刻蚀相关论文

用聚焦离子束在LiNbO<,3>晶体上刻蚀二维空气孔光子晶体的研究

光子晶体是近几十年迅速发展起来的一种新型人工结构功能材料，是一种折射率呈空间周期性变化的材料，其空间周期与光波长可以相比，由于......

学位

光子晶体铌酸锂聚焦离子束气体辅助刻蚀功能材料人工结构

用聚焦离子束气体辅助刻蚀在LiNbO3上制备亚微米圆孔点阵

使用聚焦粒子束（FIB）在LiNbO3上刻蚀用于光子晶体的亚微米圆孔二维点阵,研究了刻蚀束流、刻蚀时间和填充率等刻蚀参数对刻蚀结果造成......

期刊

聚焦离子束铌酸锂气体辅助刻蚀

看过本文同时还关注