氟化物薄膜相关论文
为了进一步研究明确氟化薄膜材料在深紫外/紫外波段(deepultrsviolet DUV/ultravjoletUV)的光学常数,本文研究了深紫外波段常用的6......
在激活期间形成的氟化物电影的物理特征和微观结构被调查用 SEM, XPS 和 SAM,和它在无电的镍的稳定性(在) 洗澡被分析。氟化物电影在......
脉冲激光溅射法(PLD), 作为一种制备高质量薄膜的方法, 被广泛地用于制备超导、铁电等薄膜. 用PLD法制备的Yb3+和Er3+共掺杂氟化物......
为了研制低损耗、高性能的193 nm氟化物增透膜,研究了基底和不同氟化物材料组合对氟化物增透膜的影响。在熔石英基底上,将挡板法和......
文章采用高温固相反应合成了NaY0.835Yb0.15Tm0.015F4块状材料,并用其作靶材,通过真空热蒸发沉积技术在Al2O3基板制备出了Yb3+和Tm......
为了研制低损耗、高性能的193 nm氟化物高反膜,对193 nm氟化物高反膜的设计、制备与性能分析进行了深入探讨。用挡板法和预镀层技......