氟硅酸盐法相关硕士博士期刊学术论文

四氟化硅（SiF4）是电子和半导体行业中的一种重要原料,在光伏产业中占重要地位。详细介绍了四氟化硅的主要制备方法：硫酸法、Si-F2直接......