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氢化非晶碳化硅相关论文
氢化非晶碳及碳化硅薄膜结构和光学特性研究
氢化非晶碳(a-C:H)和氢化非晶碳化硅(a-Si C_x:H)薄膜由于具有高的硬度、低摩擦系数、高的可见光透射率、稳定的室温光致发光(PL)......
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氢化非晶碳薄膜
氢化非晶碳化硅
PECVD
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