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氢钝化硅相关论文

AFM电场诱导氧化加工作用的分析

纳米加工技术是纳米器件研究的重要基础条件,纳米氧化结构则是纳米器件的重要组成部分.为了深化对AFM电场诱导氧化加工机理的理解,......

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原子力显微镜 AFM 纳米加工技术纳米器件电场诱导氧化门槛电压氧化结构氢钝化硅 nanodevicefieldinduced oxidationato

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