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氦诱生微孔相关论文

氦诱生微孔对硅二极管漏电流特性的改善

高剂量的氦离子注入并热处理在硅中形成对金属具有高吸杂作用的微孔.以低金属杂质浓度的硅平面二极管的反向漏电流为指标,研究了吸......

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氦诱生微孔二极管热处理漏电流微孔吸杂技术 cavity induced by helium implantationdiodeheat treatmen

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