氦质谱检漏仪法相关论文
根据真空感应炉真空系统的特点,结合真空检漏技术原理和方法,选择氦质谱检漏仪法进行真空感应炉安装中的真空检漏,归纳出真空感应......
介绍MOCVD的基本原理和几种常见的检漏方法,探讨MOCVD系统各部分的作用及其检漏技术,使工艺人员能够快速有效的确定设备各部分漏率......