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电化学系统中阀与非阀金属表面均可诱发微弧,但是又存在不同的反应规律。其共性是均可于阳极金属表面形成富氧气隙膜,均会因初始的岛......
介绍了Φ300mm/0.18μm对栅极氧化层的要求、生长极簿栅极氧化层的方法及其形成栅极氧化层的设备。......
采用多角度椭圆偏振光谱测量,并结合一定的数值方法,首次同时精确测出了多种工艺条件下由快速热氧化法生长的超薄氧化层厚度与折射率......