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氧化膜CHP相关论文
在集成电路量产中减少氧化膜CMP(化学机械研磨)的缺陷
在超大规模集成电路的生产中,减少氧化膜CMP中的各种缺陷一直是工程师们的工作焦点之一.实际上这些缺陷的尺寸、形状、深度等能为......
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氧化膜CHP
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