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研究不同气氛中退火的氧化铟镓薄膜晶体管电学性能随退火温度的变化,并采用霍尔效应测试分析氧化铟镓的载流子浓度(Nc)和迁移率(μ......
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薄膜晶体管
氧化铟镓
退火
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