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^16O弹性前冲测量氦的深度分布
利用12MeV的^16O离子弹性前冲测量(ERD)方法,研究了以20keV和40keV注入4^0He的深度分布,并与非卢瑟福背散射结果进行了比较。对40keV注入的样品观察到有双峰分布,20keV注入的样......
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弹性前冲测量
深度分布
氦4
氧6
OElastic recoil detection(ERD)4HeDepth profile
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