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氩离子溅射清洗相关论文
轴承钢表面PIIID处理膜基结合力的研究
该课题采用等离子体浸没离子注入与沉积(PIIID)技术在轴承钢GCr15表面形成TiN薄膜,PIIID过程通过RF射频辉光放电和脉冲阴极弧金属......
学位
等离子体浸没离子注入
膜基结合力
划痕法
氩离子溅射清洗
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