分别采用氮离子束增强沉积和Ｎ－Ｔｉ离子束同步增强沉积工艺制备了Ｍｏ２Ｎ和Ｍｏ２－ｘＴｉｘＮ薄膜，用ＸＲＤ，ＴＥＭ、划痕和阳极极化方法研究了两者的结构与性能。......