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氮化镓薄膜(GaN)相关论文
AⅡnN/GaN异质结的制备及其性质研究
近年来,GaN基器件的研究受到了越来越广泛的关注,AlGaN/GaN HEMT的研究也有了突飞猛进的进展,但是由应力产生的压电效应问题一直限......
学位
金属有机化学气相沉积(MOCVD)
氮化镓薄膜(GaN)
铝铟氮薄膜(Al1-xInxN)
高In
异质结
应力
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