氮气掺杂相关论文
采用射频磁控溅射方法,在P型硅基片上制备了非晶掺氮氧化铟锌沟道层及其薄膜晶体管(a-IZO∶N-TFTs)器件,探讨了氮气对a-IZO∶N-TFT......
利用MOCVD方法生长了高质量的ZnO薄膜材料,分别通过N2和NH3对c面和R面蓝宝石衬底上生长的ZnO薄膜材料进行了掺杂行为研究.掺N2时,X......
采用射频磁控溅射法,在热氧化p型硅基片上制备了双沟道层非晶氧化铟锌（a-IZO）和氮掺杂氧化铟锌（a-IZON）薄膜晶体管（TFTs）,并研究了双沟道......
