氮氩流量比相关论文
采用射频磁控溅射技术,以纯钛为靶材,氮气为反应气体,通过改变氮氩流量比与基底温度在304不锈钢及玻璃表面制备了不同的TiN薄膜.利......
采用Si层作为过渡层,通过射频磁控溅射辅助直流脉冲磁控溅射技术在n型(100)单晶Si和硬质合金(YG8)基底上制备掺氮类金刚石薄膜.采......
利用等离子表面合金化技术在Ti6A14V合金表面制备了钼-氮渗镀复合层，通过调整氮氩流量比获得3种表面渗镀复合层，对渗镀复合层的组织......
采用直流磁控溅射镀膜工艺,在不同的氮氩流量比条件下,制备了玻璃基Ti N薄膜。通过X射线衍射仪（XRD）、场发射扫描电子显微镜（SEM、EDS......
