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氮铝酸镧薄膜相关论文
高介电栅介质材料氮铝酸镧和硅酸镝薄膜的研究
本文选择了氮铝酸镧和硅酸镝作为研究对象,采用脉冲激光沉积(PLD)系统制备薄膜,并采用各种结构和电学表征手段,系统地研究了他们的微......
学位
高介电栅介质材料
氮铝酸镧薄膜
硅酸镝薄膜
脉冲激光沉积
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