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氮-硅反应相关论文
快速热工艺系统中的氮—硅反应
本文报道了以卤素钨灯为辐射源的快速热工艺(RTP)系统中的氮-硅直接热反应并和在常规电阻丝加热氧化炉中的氮-硅反应作了比较。并......
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氮-硅反应
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