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沉积粒子相关论文

Pt/Al2O3衬底上低损耗Mn2+掺杂BST薄膜制备

本文采用射频磁控溅射法在Pt/Al2O3衬底上制备了2mol％Mn2+掺杂的Br0.5Sr0.5TiO3(BST)薄膜。分析了衬底表面沉积粒子的能量状态，对溅......

会议

Al2O3 衬底表面低损耗掺杂 BST薄膜射频磁控溅射法溅射功率溅射工艺基片温度沉积粒子总气压调谐率制备优化能量分析

薄膜沉积过程的机理、模拟、实验研究

该文通过探讨改变基体表面几何形貌对膜的形核的影响,提出了基体表面形貌的理论几何模型,基于基体表面能,建立稳定原子簇团生长的......

学位

蒙特卡罗沉积粒子薄膜生长率原子簇团 MoS膜 TiN膜

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