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沟道方向的RBS相关论文

用Marker技术和沟道方向的RBS研究等离子体阳极化膜

等离子阳极化是一种低温半导体材料氧化技术。本文用Marker技术证实了这种膜的氧化机制,并用RBS测量研究了过渡层厚度和膜的成分。......

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沟道标志技术 RBS Marker 沟道方向的RBS 等离子体阳极化等离子体过渡层极化膜半导体材料

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