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注入剂量不均匀性相关论文
窄脉冲保形全方位离子注入技术
叙述了全方位离子注入过程中,由于被处理零件与其周围离子鞘层之间厚度的增加,引起零件与鞘层之间保形性变差,导致零件表面注入剂......
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等离子体浸没离子注入
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注入剂量不均匀性
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Plasma immersion ion implantation
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