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泰曼——格林干涉系统相关论文
基于模板匹配算法的压电微位移器位移量原位测量技术
针对压电微位移器的位移量高精度测量需要,基于模板匹配算法提出了一种新颖的位移量原位测量方法。利用改进型的Twyman-Green干涉......
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微位移测量
模板匹配
泰曼——格林干涉系统
原位测量
micro-displacement measurement
template matching
Tw
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