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流—热—结构耦合分析相关论文
PECVD装置的有限元分析及结构优化
针对PECVD装置在真空高温工作环境下存在的热变形问题,运用有限元流—热—结构耦合分析方法,对装置结构进行流固耦合传热特性分析,......
期刊
PECVD装置
热变形
流—热—结构耦合分析
有限元
结构优化
PECVE Device
Thermal Deformation
Fluid-Thermal
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