流量配比调节相关硕士博士期刊学术论文 - 搜论网

流量配比调节相关论文

三氯氢硅氢还原法制多晶硅的自控难点及选型

多晶硅项目由于工况特殊、技术不成熟、工程经验不足等原因，在自动控制和现场仪表选型上存在很多问题，装置运行过程中仪表的使用效果......

期刊

多晶硅闭环式三氯氢硅氢还原法流量配比调节 poly-crystalline silicon closed loop TCS（trichlorosilane

看过本文同时还关注